日本三菱电机开发出了输出功率增至10W的深紫外激光器，并在研发成果新闻发布会上进行了展示。这种波长213nm的深紫外激光器有望在空气中用于加工玻璃等光学器件。输出功率达到了普通工业用水平10W，原产品的输出功率为5.6W，完全可以实现高速加工所需的10kHz以上的脉冲激光。由于深紫外激光的波长短，适合于形成直径为10～20μm的微孔等微细加工。除用于玻璃加工外，还可用于印刷电路板的微细加工。深紫外激光器在加工印刷电路板时，采用转换树脂就可吸收355nm波长的激光。