各有关单位：
由上海硅酸盐工业协会提出并归口，中材高新氮化物陶瓷有限公司牵头起草的《半导体用氮化硅陶瓷静电卡盘》团体标准已完成标准的征求意见稿。
根据国家标准化管理委员会、民政部印发的《团体标准管理规定》及《上海硅酸盐工业协会团体标准标准管理办法》的相关规定，为保证标准的科学性、严谨性和适用性，现就本项团体标准面向全行业广泛征求意见。征求意见截止时间为2026年6月1日，逾期未回复，视为认可征求意见稿中相关内容。反馈意见请填写《标准征求意见反馈表》，并对标准内容提出宝贵的意见和建议。
联系人：陈奕睿
联系方式：13916150972 yiruichen@mail.sic.ac.cn
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